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在非晶态硅薄膜的大面积器件的应用中,最引人注目的是非晶态硅()。

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空气分离方法主要有三种:()、吸附法和膜分离法。

目前吸附分离过程中吸附剂主要有合成沸石、活性炭、硅胶、()等。

在气体吸附分离过程中绝大多数都是()分离。

聚砜类膜材料的缺点是耐()溶剂的性能差。

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