二氧化硅存在晶态和非晶态。其中晶态是指氧原子都是桥联氧原子；非晶态是指氧原子多数是非桥联氧原子。热氧化生成的二氧化硅是
A. 晶态
B. 桥联氧原子多
C. 非桥联氧原子多
D. 桥联氧原子和非桥联氧原子各占一半
哪种氧化方法获得的氧化膜质量最好，但氧化速度较慢
A. 水汽氧化
B. 湿氧氧化
C. 干氧氧化
D. 氢氧燃烧氧化
哪种氧化方法获得氧化膜质量最差，但氧化速度较快
A. 干氧氧化
B. 水汽氧化
C. 湿氧氧化
D. 氢氧燃烧氧化
下面对氧化速率叙述正确的是
A. 氧化速率与氧化时间成线性比例
B. 氧化速率与氧化时间成抛物线比例
C. 氧化速率的大小等于气体扩散速率、固体扩散速率和化学反应速率三者速率之和
D. 氧化速率与氧化时间有时成线性比例，有时成抛物线比例
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