题目内容

后清洗（去磷硅玻璃）的目的是什么

A. 去除金属离子
B. 去除硅片表面机械损伤
C. 去除刻蚀腐蚀的表面痕迹
D. 去除硅片表面含有磷原子的SIO2层

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