A. 离子刻蚀 B. 离子溅射沉积 C. 离子镀(又称离子溅射辅助沉积) D. 离子注入
A. (1) 适合于加工各种硬脆材料，特别是某些不导电的非金属材料。 B. (2) 由于工具材料硬度很高，故易于制造形状复杂的型孔。 C. (3) 加工时宏观切削力很小，不会引起变形、烧伤。 D. (4) 加工机床结构和工具均较简单，操作维修方便。
A. 对 B. 错
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