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为了测得比栅距更小的位移量,光栅传感器要采用 技术。

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设两光栅刻线间的夹角为q,栅距均W,则二者所生成之英尔条纹间的距离为。

光栅传感器的四个组成部分:、、和指示光栅。

光栅按其原理和用途可分为 光栅和光栅。

黑白透射式光栅由标尺光栅、光栅和光敏元件组成。

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