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硅压力传感器失效的形式有()。 ①参数漂移; ②绝缘降低; ③膜片劈裂; ④电磁干扰; ⑤芯体渗漏。

A. ②③④⑤
B. ①③④⑤
C. ①②③⑤
D. ①②③④⑤

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