理想刻蚀工艺具有特点

A. 各向同性刻蚀，即具有垂直刻蚀，又具有横向刻蚀。
B. 良好的刻蚀选择性，对掩膜刻蚀速度小，对待刻蚀薄膜刻蚀速度大。
C. 加工批量大，控制容易，成本低，对环境污染小，适用于工业生产。