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传感器可以用来直接测量目标物的移动量或转动量,也可以通过位移测量的方法测量物位、厚度、距离等长度参数,还可以通过微位移间接的测量压力、应变、速度、加速度等其他物理量。

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光栅传感器是根据 原理工作的测量反馈装置,主要用于位移测量和位移相关的物理量,如速度、加速度、振动、质量、表面轮廓等方面。

光栅尺是由 和光栅读数头中的指示光栅构成的。

常用的细分方法有四倍频细分、 、复合细分等。

光栅读数头由下列哪些部分组成()。

A. 光源
B. 透镜
C. 指示光栅
D. 驱动电路
E. 光电元件

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