镀TiN时，靶材为金属钛，溅射气体为Ar和N2的混合气体，此种制备技术为____________溅射。
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对于溶解度温度系数为正且较大（溶解度随温度的升高而增大）的物质，采用____________生长比较理想。
对于溶解度温度系数比较小或为负（溶解度随温度的升高而减小）的物质，则宜采用____________生长比较理想。
溶解度曲线中,对于溶解是吸热的晶体,随着温度的升高,溶解度增大。
A. 对
B. 错
气相生长中,气体输运的过程当内部压力<102 Pa时,气相输运速度主要由扩散决定。
A. 对
B. 错
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