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在透射式直线光栅中,把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起,中间留有很的间隙,并使两者的栅线保持很的夹角θ。在两光栅的刻线重合处,光从缝透过,形成亮带;在两光栅刻线的错开处,由于相互挡光作用而形成带。所形成的条纹称为莫条纹。

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莫尔条纹的间距是放大了光栅的距,相当于把微小的栅距放了1/θ倍(θ小于1)。θ越,放大倍数越大。计量光栅起到光学放大器的作用,使得光敏元件可以分辨主光栅与指示光栅的微小的相互移动。

在增量式光栅中,为了寻找坐标原点、消除误差积累,在测量系统中需要有零标记(位移的起始点),因此在光栅尺上除了主刻线外,还必须刻有零位基准的零位光(参见图11-12中的序号5、7元件),以形成零位脉冲,又称参考脉冲。把整形后的零位信号作为计数开的条件。

细分技术又称倍技术。细分电路能在增加光栅刻线数(线数越多,成本越昂)的情况下提高光栅的分辨力。能在一个W的距离内,能够等间隔地给出n个计数脉冲。细分后计数脉冲的频率是原来的n倍,传感器的分辨力就会有较大的提(能够分辨的位移数值变)。常见的细分方法有:4倍频法、16倍频法等,可通过专用集成电路来实现。

微机光栅数显表中的所谓“微机”,是指在1980年代所研制的,类似于现在的单机。虽然其功能比较简单,但能够处理数信号,在上个世纪得到广泛的应用。在微机光栅数显表中,放大、整形采用传统的集成电路,辨、细可由微机(现在为微处理器)来完成。