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对电容式传感器,电容量大小与极板间距离呈______,与极板有效覆盖面积呈______。

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对变面积型电容式传感器,电容量与水平位移呈______关系。

对电容式传感器及电感式传感器,为提高灵敏度,减小非线性误差,实际应用中常采用______式结构。

对变极距型平板电容式传感器,其灵敏度与起始间隙呈______关系。

电容式传感器的测量电路将______变化量转换为电压或电流信号。

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