题目内容

下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是（）。

A. 4HF+Si=SiF₄+2H₂↑
B. CF₄+SiO₂——→SiF₄+CO₂↑
CF₄+SiO₂+O₂——→SiF₄+CO₂↑
D. SiO₂+4HF——→SiF₄+2H₂O

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