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一般来说,热扩散过程遵循的定律为

A. 牛顿定律
B. 菲克定律
C. 霍尔定律
D. 迪克定律

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diffuse的含义是

A. 扩散
B. 氧化
C. 光刻
D. 刻蚀

ion implant的含义是

A. 扩散
B. 离子注入
C. 光刻
D. 刻蚀

anneal的含义是：

A. 氧化
B. 离子注入
C. 退火
D. 刻蚀

RTA

A. 快速热退火
B. 快速热处理
C. 反应离子刻蚀
D. 等离子体刻蚀