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完整的MEMS是由、、、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。

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MEMS器件制造中的四种主流技术是：、、和。

网络传感器就是能与连接或通过使其与微处理器、计算机或仪器系统连接的传感器。

网络传感器主要是由、及组成。

目前，主要有基于的网络传感器和基于的网络传感器两大类。