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超声波加工机床本体由（）、（）、（）、（）和工作液循环系统部分组成。

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超声波加工适于加工（）、薄片等不能承受较大机械应力的零件。

激光是一种亮度高、方向性强、单色性好的相干光，它可以把能量高度集中在特定的小面积上，（）就是利用这一特性实现的。

激光加工装置由（）、（）、（）和（）四大部分组成。

（）的作用是将电能变成光能，产生所需要的激光束。