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离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格,高温退火过程能使硅片中的损伤部分或绝大部分得到消除,掺入的杂质也能得到一定比例的电激活。

A. 正确
B. 错误

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A. 990
B. 995
C. 995.02
D. 1000

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