电容式传感器是把被测量转换为________变化的一种传感器。当忽略边缘效应时，控制两个参量不变，只改变一个参量，可分别制作成变_____式、变____式和变______式电容传感器，其中变_____式电容传感器通常用于测量1nm-1um位移的精确测量，其动态响应特性____(好/差)，灵敏度和精确度____（高/低），但由于原理上的_______，需配合使用的电子电路较复杂。