A. 合金A-42 B. 4J29可伐 C. 4J34可伐
A. 扩散层质量 B. 设计 C. 光刻
A. 准备工具 B. 准备模塑料 C. 模塑料预热
A. 化学刻蚀机理 B. 物理刻蚀机理 C. 物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合