计量光栅分类可分为长光栅和圆光栅。长光栅用于直线位移测量,故又称直____光栅。圆光栅用于____位移测量。
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光栅副由主光栅(标____光栅)和指____光栅组成。主光栅和指示光栅的刻线宽度和间距完全相____。将指示光栅与主光栅叠合在一起,两者之间保持很____的间隙(0.1mm)。在长光栅中,主光栅通常固定____动,而____光栅安装在运动部件上,所以两者之间形成相对运动。
在圆光栅中,指示光栅通常固定____动,而主光栅随转轴转____。
在透射式直线光栅中,把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起,中间留有很____的间隙,并使两者的栅线保持很____的夹角θ。在两光栅的刻线重合处,光从缝____透过,形成亮带;在两光栅刻线的错开处,由于相互挡光作用而形成____带。所形成的条纹称为莫____条纹。
莫尔条纹的间距是放大了光栅的____距,相当于把微小的栅距放____了1/θ倍(θ小于1)。θ越____,放大倍数越大。计量光栅起到光学放大器的作用,使得光敏元件可以分辨主光栅与指示光栅的微小的相互移动。