系统误差是_______(有/无)规律的,______(可以/不可以)预测的,_______(可以/不可以)消除的。
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随机误差是_______(可以/不可以)通过多次测量取平均值来减小。
导体或半导体材料在外界力作用下产生机械变形,其________发生变化的现象称为___________。
金属应变片有________、__________、________三种。
电容式传感器是把被测量转换为________变化的一种传感器。当忽略边缘效应时,控制两个参量不变,只改变一个参量,可分别制作成变_____式、变____式和变______式电容传感器,其中变_____式电容传感器通常用于测量1nm-1um位移的精确测量,其动态响应特性____(好/差),灵敏度和精确度____(高/低),但由于原理上的_______,需配合使用的电子电路较复杂。