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常见的物理气相沉积法包括、和。

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在极低的氯气压力下观察钨的输运，发现在加热的钨丝中，钨从较冷的一根转移到较热的一根上，这种气相生长方法称为。

镀TiN时，靶材为金属钛，溅射气体为Ar和N2的混合气体，此种制备技术为____________溅射。

对于溶解度温度系数为正且较大（溶解度随温度的升高而增大）的物质，采用____________生长比较理想。

对于溶解度温度系数比较小或为负（溶解度随温度的升高而减小）的物质，则宜采用____________生长比较理想。