在制镜工业中,已经广泛采用铝膜代替银膜,铝膜的制备通常选用 。
A. 蒸镀法
B. 溅射法
C. 离子镀法
D. CVD法
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镀制TiN超硬膜主要采用的镀膜技术是 。
A. 浸镀法
B. 直流溅射法
C. 多弧离子镀法
D. PECVD
为了避免尖楔现象用含1%硅的硅铝合金制备IC内电极,所采用____________技术制备。
A. 电阻束蒸发
B. LPCVD
C. 磁控溅射
D. 反应溅射
在Si表面上生长Bi和Ag膜属于 。
A. 核生长型
B. 层生长型
C. 层核生长型
D. 岛生长型
用几十eV的高能粒子轰击靶材,将其原子打出来的技术称为 。
A. 真空蒸发法
B. 溅射镀膜法
C. 离子镀
D. PECVD