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超声波加工机床主要由（）、（）和（）三部分组成。

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（）是超声波加工的动力源。

超声振动系统主要由超声换能器和（）组成。

超声波加工机床本体由（）、（）、（）、（）和工作液循环系统部分组成。

超声波加工适于加工（）、薄片等不能承受较大机械应力的零件。