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离子注入纵向效应

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离子注入沟道效应

离子注入损伤包括因联级碰撞而出现的简单晶格损伤和的形成

离子注入后退火再分布的目的是和使杂质达到预期分布并有电活性。

当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为。