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光栅副主要由（）和（）组成，是光栅传感器的核心部分，其精度决定着整个光栅传感器的精度。

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采用100线/mm光栅时，若从光敏元件前掠过的莫尔条纹数也为1500条，则光栅移动了（）mm。

光栅式传感器的基本工作原理是用光栅的（）现象进行测量的。

光栅传感器是根据（）原理制成的一种脉冲输出数字式传感器，主要用于位移测量及与位移有关的物理量。

感应同步器是利用两个平面绕组的（）原理来检测（）的精密传感器。