干法刻蚀的终点检测有许多方法，通常采用的是（）终点检测方法。
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活动预热期间只需准备库存就行，不需要做其他的事情（）
A. 对
B. 错
专门针对管理人员而设计的定量化的工作分析系统是（）。
为提高材料的利用率，可对材料的形状及排布方式进行优化，以减少材料浪费
A. 对
B. 错
单晶硅太阳能电池采用（）表面来增加表面积，用沉积Si3N4作（）膜来降低入射光的反射，用在扩散层表面氧化生长（）nm的钝化层，改变表面层硅原子价键失配，减少表面复合，提高短路电流。用PECVD法沉积Si3N4时，反应中大量的原子H可以降低钝化层与表层硅界面的（）
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