A. 通过微细加工技术及微机械加工技术在半导体基板上制作的微型电子机械装置 B. 在微电子学中衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度是特征尺寸。 C. 特征尺寸为1μm–1mm的为小型机构 D. 特种尺寸为1nm-1μm到一微米的微纳米机械
A. 按基本效应分 B. 按工作原理分 C. 按构成分 D. 按输出量分
A. 对 B. 错
A. 保障和改善民生 B. 就业 C. 教育 D. 医疗卫生