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安全生产标准化班组“二簿一表”是指：班组安全教育簿、班组安全档案簿和安全检查表

A. 对
B. 错

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鼓风机检修前应用蒸汽进行清扫

A. 对
B. 错

简述颗粒物的分类。

离子注入掺杂剂量偏差的原因主要来源于：（）、（）和可能的（）。例如：当作28Si+注入时，可能有真空系统中剩余气体产生的（）也会同时注入。

要在生产中引入工业机器人系统的工程，可按4个阶段进行：（）、机器人工作站和生产线的详细设计、（）及交付使用。