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智能传感器较传统传感器最大的变化就是将和相结合。

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所谓的智能式传感器就是一种带有的，兼有信息检测、信号处理、信息记忆、的传感器。

模糊传感器是在传统数据检测的基础上，经过，以模拟人类自然语言符号描述的形式输出测量结果的一类智能传感器。

完整的MEMS是由、、、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。

MEMS器件制造中的四种主流技术是：、、和。