A. 111 B. 选择正确温度的Recipe
A. 禁止该炉层,反馈工程师 B. 111
A. 针对流量压力低下报警,先调节流量偏低的单元流量阀门,如报警无法改善,则反馈工程师同时与生产确认切线时间进行滤芯更换 B. 1112
A. 调整进气阀门 B. 111
A. 拍照,将产品排出机台,和PI确认产品处理方式 B. 111