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电子显微分析方法常见的有、、等。

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SEM是指分析，参与成像的是主要是电子和电子，要求样品有一定的性。

在透射电镜里，参与相位衬度成像的有束和束。

衬度是指两个相邻部分的差。

背散射电子的产额强烈地依赖于作用处的大小, 其值越大，产额越，图像越。如重元素比轻元素图像。