题目内容

以下薄膜制备方法中,膜层与基底结合强度最大的是: 。

A.蒸镀
B.溅射镀
C.溶胶-凝胶法
D.离子镀

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在制镜工业中所用的铝膜大多采用的制膜方法是: 。

A.蒸镀
B.溅射镀
C.离子镀
D.化学镀

在制镜工业中，已经广泛采用铝膜代替银膜，铝膜的制备通常选用。

A. 蒸镀法
B. 溅射法
C. 离子镀法
D. CVD法

镀制TiN超硬膜主要采用的镀膜技术是。

A. 浸镀法
B. 直流溅射法
C. 多弧离子镀法
D. PECVD

为了避免尖楔现象用含1%硅的硅铝合金制备IC内电极，所采用____________技术制备。

A. 电阻束蒸发
B. LPCVD
C. 磁控溅射
D. 反应溅射