计量光栅可分为透射式光栅和反____式光栅。由光源、光____副、光敏____件三大部分组成。
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透射式光栅用光学玻璃做基体,并镀铬,在其上均匀地刻划出间____、宽____相等的条纹,形成连续的透光区和____透光区。
反射式光栅用不锈钢制作基体,在基体上用化学腐蚀方法制出黑____相间的条纹,形成反光区和不____。
计量光栅分类可分为长光栅和圆光栅。长光栅用于直线位移测量,故又称直____光栅。圆光栅用于____位移测量。
光栅副由主光栅(标____光栅)和指____光栅组成。主光栅和指示光栅的刻线宽度和间距完全相____。将指示光栅与主光栅叠合在一起,两者之间保持很____的间隙(0.1mm)。在长光栅中,主光栅通常固定____动,而____光栅安装在运动部件上,所以两者之间形成相对运动。