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进行催化燃烧的设备为催化燃烧炉，主要应包括预热与燃烧部分。

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多数情况下，含氟废气的净化采用水吸收法。HF溶于水生成氢氟酸，SiF4溶于水生成氟硅酸。

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碳氢化合物的人为来源主要是石油燃料的不充分燃烧和石油类的蒸发。

吸声材料大都是由多孔材料做成的，但对低频噪声，吸声材料往往不是很有效，因此，对低频噪声常常采用共振吸声结构来降低噪声。