干法刻蚀的刻蚀参数

A. 湿法刻蚀的反应生成物必须是气体或能溶于刻蚀剂的物质，否则会造成反应物沉淀，影响刻蚀的正常进行。湿法刻蚀选择性好、重复性好、生产效率高、设备简单、成本低。湿法刻蚀钻刻严重、对图形的控制性较差，不能用于小的特征尺寸，且会产生大量的化学废液
B. 干法刻蚀各向异性好，选择比高，可控性、灵活性、重复性好，细线条操作安全，易实现自动化，无化学废液，处理过程未引入污染，洁净度高。干法刻蚀成本高，设备复杂。
C. 干法刻蚀包括物理刻蚀、化学刻蚀和物理化学刻蚀；湿法刻蚀主要指化学刻蚀。
D. 特征尺寸大于20纳米干法较多