题目内容

生产中常常用作高深宽比填充的金属是:

A. 铝
B. 铜
C. 钨
D. 钛

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采用铝硅铜合金可以解决铝互连中的什么问题?

工艺中用于储存抛光液,并把它均匀运送到工件的整个加工区域的是:

解决铝互连电迁移问题的方法有:

A. 采用三层夹心结构或者竹状结构
B. 硅化金属
C. 欧姆接触
D. 铝硅铜合金或铝铜合金

影响CMP质量的因素包括:

A. 抛光压力
B. 转速
C. 抛光区域温度
D. 抛光液的粘度、PH值、流速和磨粒的尺寸、浓度、硬度等