题目内容

能够实现全局平坦化的方式是:

A. 反刻
B. 高温回流
C. 旋涂玻璃法
D. 化学机械抛光

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解决金属铝与衬底之间肖特基接触的方法有:

A. 阻挡金属
B. 铝铜合金
C. 铝硅合金
D. 重掺杂(电极引出处)

生产中常常用作高深宽比填充的金属是:

A. 铝
B. 铜
C. 钨
D. 钛

采用铝硅铜合金可以解决铝互连中的什么问题?

工艺中用于储存抛光液,并把它均匀运送到工件的整个加工区域的是: