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I/C&O/C单元破片报警处理方式()

A. 根据SOP处理玻璃破片,并着重关注破片时BPC内的玻璃在检查机的状况
B. 1111

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出现烘烤温度与工艺卡不一致怎么处理()

A. 111
B. 选择正确温度的Recipe

Heater升温异常()

A. 禁止该炉层,反馈工程师
B. 111

当设备生产中发生某个单元流量/压力报警时如何处理()

A. 针对流量压力低下报警,先调节流量偏低的单元流量阀门,如报警无法改善,则反馈工程师同时与生产确认切线时间进行滤芯更换
B. 1112

炉内进气异常()

A. 调整进气阀门
B. 111

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