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位置测量有()式和()式。

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有一直线光栅,每毫米刻线数为50,则栅距W=20μm;主光栅与指示光栅的夹角为1.8°,则莫尔条纹距L=W/θ=0.64mm,是栅距的()倍。

光栅副主要由()和()组成,是光栅传感器的核心部分,其精度决定着整个光栅传感器的精度。

采用100线/mm光栅时,若从光敏元件前掠过的莫尔条纹数也为1500条,则光栅移动了()mm。

光栅式传感器的基本工作原理是用光栅的()现象进行测量的。

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