根据及其温偏特性,可以判断氧化层厚度、氧化层中的固定电荷密度、可动电荷密度和界面态密度等。
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栅氧化层的要求较高,常要求具有
A. 低的介电常数和击穿电压
B. 高的氧化层电荷和缺陷密度
C. 好的抗杂质扩散的势垒特性
D. 在热载流子应力和辐射条件下的高稳定性
二氧化硅与硅之间完美的界面特性,其在电子元件制造中具有很多用途,请把下面二氧化硅用途示意图与相应文字说明连起来。
热氧化过程中杂质再分布情况比较复杂,常见的杂质在Si/SiO2界面再分布主要有四种情况,请把四种分布情况的示意图与其对应的特征说明连起来:
密度是SiO2致密度的标志。密度大,致密程度高,SiO2密度大于Si的密度,Si变成SiO2后体积会收缩。
A. 对
B. 错