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为了得到任意的表面浓度、杂质数量和结深以及满足浓度梯度等要求,需要采用哪种扩散工艺?具体实施步骤?

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什么是发射区推进扩散?

快速气相掺杂

气体浸没激光掺杂

工艺是将具有电活性的杂质,在一定温度下 ,以一定速率扩散到衬底硅的特定位置,得到所需的掺杂浓度及掺杂类型。

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