超星 - 第6单元作业 - 查题吧

多选题

离子注入机根据能量和束流大小可以分为:

A. 高能注入机
B. 低能注入机
C. 大束流注入机
D. 中束流注入机

多选题

退火的作用是:

A. 激活杂质
B. 修复晶格损伤
C. 抑制沟道效应
D. 抑制鸟嘴效应

多选题

抑制沟道效应的方法有:

A. 在表面注入一层非晶材料
B. 表面添加一薄层氧化物
C. 破坏表面硅原子的排列(预先浅注入)
D. 将晶圆倾斜一定的角度

多选题

以下各项中,能够影响杂质扩散的因素有:

A. 内建电场
B. 基区陷落效应
C. 氧化增强扩散效应
D. 高浓度磷扩散

判断题

杂质注入之后就会占据晶格位置,产生活性,参与导电。

A. 对
B. 错

判断题

离子注入时可以采用的掩膜有很多,例如二氧化硅、氮化硅、金属、光刻胶等,用的较多的是光刻胶。

A. 对
B. 错

判断题

相对离子注入来说,扩散更加容易控制。

A. 对
B. 错

判断题

电流流经一个长宽相等,厚度为Xj的扩散薄层所显示出来的电阻称为方块电阻,单位是Ω。

A. 对
B. 错

判断题

利用金扩散,是因为金在硅中主要起复合中心的作用,可以减少少子寿命,提高器件的开关速度。

A. 对
B. 错

多选题

关于辅助平面法求相贯线的投影，下面哪些说法是正确的？

A. 辅助平面应该与相贯线相交或相切，也与两个相贯立体相交或相切；
B. 辅助平面应该与相贯线相交，但不必要与两个相贯立体都相交；
C. 辅助平面与相贯体产生的交线的投影应该尽可能简单好求，比如是直线或圆。

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