题目内容

3.17 测试后方阻偏大，原因可能有：

A. 小N2流量偏大
B. 小N2流量偏小
C. 扩散温度偏大
D. 扩散温度偏低
E. 源温偏高
F. 石英管刚洗没有做TCA饱和

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3.24 扩散R□偏低，应做如下调整：（）

A. 减小扩散温度
B. 增大小N2流量
C. 减小大N2流量
D. 减小扩散时间

3.21 扩散后硅片间方阻不均的原因是：

A. 扩散温度不均
B. 石英管漏气
C. 气流不均
D. 扩散时间太长

3.4 扩散制结从原理上讲，其实际过程应该是两个，分别是（）和（）

3.6 如果要进行单面扩散，那么每个槽中应放置（）片硅片