3.3 扩散常用的扩散源是什么 ？

A. 固态磷
B. 液态磷
C. 液态三氯氧磷
D. 三氯氧磷水溶液

3.7 单面扩散的工艺中，石英舟从扩散区运送到装卸片区时首先要吹片，其主要作用是什么

A. 降温
B. 防止黏片
C. 吹干
D. 以上都是

3.8 扩散中测试硅片的方阻值，通常测试（ ）个点

A. 1
B. 3
C. 5
D. 7

3.12 扩散的源瓶上有两根玻璃管，一长一短，接在阀门上还有两根PVC管，一细一粗，请问换源时怎么接管？

A. 粗接短
B. 细接短
C. 粗接长
D. 细接长

3.17 测试后方阻偏大，原因可能有：

A. 小N2流量偏大
B. 小N2流量偏小
C. 扩散温度偏大
D. 扩散温度偏低
E. 源温偏高
F. 石英管刚洗没有做TCA饱和

3.24 扩散R□偏低，应做如下调整：（）

A. 减小扩散温度
B. 增大小N2流量
C. 减小大N2流量
D. 减小扩散时间

3.21 扩散后硅片间方阻不均的原因是：

A. 扩散温度不均
B. 石英管漏气
C. 气流不均
D. 扩散时间太长

3.4 扩散制结从原理上讲，其实际过程应该是两个，分别是（）和（）

3.6 如果要进行单面扩散，那么每个槽中应放置（）片硅片

3.9 请按照工艺先后写出以下操作的顺序。接收片盒—