3.8 扩散中测试硅片的方阻值，通常测试（ ）个点
查看答案
3.12 扩散的源瓶上有两根玻璃管，一长一短，接在阀门上还有两根PVC管，一细一粗，请问换源时怎么接管？
A. 粗接短
B. 细接短
C. 粗接长
D. 细接长
3.17 测试后方阻偏大，原因可能有：
A. 小N2流量偏大
B. 小N2流量偏小
C. 扩散温度偏大
D. 扩散温度偏低
E. 源温偏高
F. 石英管刚洗没有做TCA饱和
3.24 扩散R□偏低，应做如下调整：（）
A. 减小扩散温度
B. 增大小N2流量
C. 减小大N2流量
D. 减小扩散时间
3.21 扩散后硅片间方阻不均的原因是：
A. 扩散温度不均
B. 石英管漏气
C. 气流不均
D. 扩散时间太长
微信支付 
支付宝支付