题目内容

3.3 扩散常用的扩散源是什么？

A. 固态磷
B. 液态磷
C. 液态三氯氧磷
D. 三氯氧磷水溶液

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3.7 单面扩散的工艺中，石英舟从扩散区运送到装卸片区时首先要吹片，其主要作用是什么

A. 降温
B. 防止黏片
C. 吹干
D. 以上都是

3.8 扩散中测试硅片的方阻值，通常测试（）个点

A. 1
B. 3
C. 5
D. 7

3.12 扩散的源瓶上有两根玻璃管，一长一短，接在阀门上还有两根PVC管，一细一粗，请问换源时怎么接管？

A. 粗接短
B. 细接短
C. 粗接长
D. 细接长

3.17 测试后方阻偏大，原因可能有：

A. 小N2流量偏大
B. 小N2流量偏小
C. 扩散温度偏大
D. 扩散温度偏低
E. 源温偏高
F. 石英管刚洗没有做TCA饱和