3.3 扩散常用的扩散源是什么 ?
A. 固态磷
B. 液态磷
C. 液态三氯氧磷
D. 三氯氧磷水溶液
3.7 单面扩散的工艺中,石英舟从扩散区运送到装卸片区时首先要吹片,其主要作用是什么
A. 降温
B. 防止黏片
C. 吹干
D. 以上都是
3.8 扩散中测试硅片的方阻值,通常测试( )个点
A. 1
B. 3
C. 5
D. 7
3.12 扩散的源瓶上有两根玻璃管,一长一短,接在阀门上还有两根PVC管,一细一粗,请问换源时怎么接管?
A. 粗接短
B. 细接短
C. 粗接长
D. 细接长