题目内容

坚膜就是在一定温度下，对显影后的衬底进行烘培。其主要作用有。

A. 提高光刻胶在刻蚀过程中的抗蚀性
B. 除去光刻胶中剩余的溶剂
C. 增强光刻胶对硅片表面的吸附力
D. 提高光刻胶在离子注入过程中的保护能力

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