题目内容

光栅传感器由()等组成。

A. 光栅
B. 光路
C. 光电元器件
D. 转换电路

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光栅式传感器是由()构成的。

A. 光源
B. 透镜
C. 主光栅
D. 指示光栅
E. 光电元件

位置测量有()式和()式。

有一直线光栅,每毫米刻线数为50,则栅距W=20μm;主光栅与指示光栅的夹角为1.8°,则莫尔条纹距L=W/θ=0.64mm,是栅距的()倍。

光栅副主要由()和()组成,是光栅传感器的核心部分,其精度决定着整个光栅传感器的精度。

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