A. 参考《XA-D-WI03060 附件2 配向膜检查岗位异常处置标准》 B. 111
A. 根据SOP处理玻璃破片,并着重关注破片时BPC内的玻璃在检查机的状况 B. 1111
A. 111 B. 选择正确温度的Recipe
A. 禁止该炉层,反馈工程师 B. 111
A. 针对流量压力低下报警,先调节流量偏低的单元流量阀门,如报警无法改善,则反馈工程师同时与生产确认切线时间进行滤芯更换 B. 1112